高性能薄膜體聲濾波器PEBAW^TM是利用聲學(xué)諧振實(shí)現(xiàn)電學(xué)選頻的一類聲學(xué)器件，采用微機(jī)械工藝制作而成，具有體積小、重量輕、插損小、矩形度好、可靠性高及易批量制造等優(yōu)點(diǎn)。與標(biāo)準(zhǔn)微電子工藝兼容，可實(shí)現(xiàn)與RFIC的SoC集成。相比于傳統(tǒng)LC、介質(zhì)、LTCC濾波器和SAW濾波器，PEBAW^TM濾波器可以同時(shí)兼顧小體積和高性能的要求，已被廣泛應(yīng)用于移動(dòng)通信終端，基站和雷達(dá)系統(tǒng)等領(lǐng)域。